キャップシール動作イメージ
①ステムとキャップを上下の電極ではさむ。
②コンデンサーに電荷をためる。
③スイッチを入れ上下電極間に②でためた電荷を放電する。
④③によりプロジェクション部を溶融し、ステムとキャップを接合する。
放電イメージと溶融
(溶融点以上になった金属が溶けたもの)
①同じ電荷を放電させた時の電流イメージ
溶融のためには、放熱が無視できる程度の時間で部分加熱が必要。
仮に溶融有効時間とした。
②有効時間内の溶融有効エネルギー量(溶融量)
・溶融量が少ないと、接合が不足となる。
・溶融量が多いと、金属のメルト分がステム周辺で飛び出しボールになる。
・調査は、QとRで調整(Rは、構造と加圧で決まる)
④溶融量の安定化
Qは、設備による(ほぼ安定しているとみなせる)
Rは、下記合成抵抗 いずれの変化も変動要因となる
(変動原因と発生頻度イメージ)
R①②について
R②③について
R③④について
①→③(経験的感覚①が発生頻度イメージ)
・キャップ、ステムの構造により、発生頻度は大差有り
Heリークテストイメージ
Heリークテストの条件出し
テストイメージから分かる様にサンプル表面には、メッキ凸凹などに多くのHeが付着します。
減圧すぐには、このHeがサンプルから少しずつ離れ、ノイズとなります。
①He量が安定(ノイズ量が安定する時間)を確認し、(未シール品、ステム、キャップシール済品で確認)
その後のHe量をリーク量とします。
②サンプル数により安定する時間に差が出ますので、テスト量に従い条件を調整します。
グロスリークテストの意義
大きな穴がある場合、Heリークテストではリーク検査は機能しません。
大きな穴は、グロスリークで検査できるので、Heリークテストの前にグロスリークテストを行います。
今回は、Ge窓を樹脂で止めています。この樹脂がグロスリークの温度に耐えれないことが分かりましたので、
グロスリークは除外しています。
Heリークテストのイメージ説明
A:リークのないもの(穴のないもの) B:小さなリーク C:大きなリーク に分けて説明します。
①大気中にはHeが少量ながら含まれています。
(Heデテクターは、それ以下の量でも検出します。)
②Heでサンプルを加圧して、穴からHeをキャップ内に圧入します。
A②は、Heがキャップ内に入りません
B②は、Heがキャップ内に入り大気量より増加します
C②は、Heがキャップ内に入りキャップ外と同量になります
③Heリークテスト初期で、テストチャンバー内にサンプルを入れ減圧します。
A③は、サンプル表面にHeが付着したままですが、キャップ内は変化なしです。
B③は、サンプル表面にHeが付着したものと、小さな穴から少しずつ出てくる
2種類があり、穴からはボンピングで入れた量までは長時間出続けます。
C③は、サンプル表面にHeが付着したものと、大きな穴からHeが出てしまいキャップ
内と外は同じHe量になります。
④He量測定
A④C④は、サンプル表面に付着したHeが出てくる量のノイズを含んだHe量。
B④は、上記ノイズ+穴から出るHe量が測定データとなります。
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